クリーンルームの環境モニタリングについて

クリーンルームの環境モニタリングは、クリーンルームやクリーンゾーンが適切な清浄度を維持出来ているかを保証するために非常に大切です。

どのタイミングでどの項目をモニタリングすべきなのか、そして規定値外の結果が出た場合の対処法などを計画策定しておきましょう。

環境モニタリングを実施するタイミング

✓クリーンルームの清浄度クラスを特定する場合
✓クリーンルーム竣工時における立ち上げ検査
✓クリーンルームに問題が発生し、修正した場合の検証
✓クリーンルームを変更した場合の検証
✓定期的なクリーンルームの性能確認

上記の場合にモニタリングを実施しましょう。

主なモニタリング項目

(1) 気流
(2) 風速
(3) 空気圧
(4) 温湿度
(5) 清浄度
(6) 化学物質・微生物・その他　

など、が挙げられますが、項目はクリーンルームの目的や用途から決めていきます。

頻度としては年に1回実施することは望ましいとされています。
また、クリーンルーム内の定置型装置の変更やレイアウト変更などを含んだ機能向上や改修した時に清浄度に影響が出る場合がありますので、クリーンルームをリニューアルした時には所定の環境条件が得られているか測定しましょう。

リニューアルの例）

✓クリーンルームの増設

生産量を増やすなどの目的で増設する場合。

✓クリーンゾーンの変更

装置の入れ替えなどによりワークゾーンとメンテナンスゾーンの仕切りなどを変更した場合。

✓レイアウトの変更

棚の設置などによるレイアウトを変更した場合（気流性状が変更する場合があるため）。
弊社では、定期の環境モニタリングやリニューアルに伴う環境モニタリングの計画について、現場の状況に合わせた内容をご提案いたします。お気軽にご相談下さい。

クリーンゾーンのモニタリング計画を作成し、所定の環境条件が得られているのかモニタリングの実施、維持することで起こりうるリスクを想定し、事前に対策を講じることで損失を極小化することに繋げていきましょう。